带三棱镜的平直度干涉测量系统

• 作者: 唐永滋
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平直度测量 干涉仪 三棱镜
• 年，卷（期）: ygjs_2001,（3）
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3

摘要

一种新型测量平直度的干涉测量系统已开发问市，该系统采用三棱镜产生两束会聚光线。一个平直度反射器把会聚光线沿它们各自的光路反射回去，以形成组合光线。探测系统接收组合光线以数出干涉条纹，与传统的平直度反射器不同，这种新的平直度反射器不但具备反射面，而且还具备折射面，当三棱镜和平直度反射器之间产生相对横向位移时，该折射面引起光程差（OPD）的变化，本文还将推导光程差（OPD）与横向位移之间存在的关系，预期结果与实验结果完全一样，在120nm的行程中，平直度的测量精度为0．1μm.