Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究

• 作者: 夏立芳 孙跃 廖家轩
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铝合金 等离子体基离子注入 DLC膜 表面改性
• 年，卷（期）: 2001,（9）
• 页码范围: 922-926
• 页数: 5页
• 分类号: TG142.2
• 字数: 3200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.09.006

摘要

用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改性层的成分分布及相结构,用激光Raman光谱分析了表面单一碳层的结构,对过渡层元素进行了Gaussian-Lorentzion峰位拟合分析.结果表明,N浓度在注入层呈Gauss分布,C浓度沿注入方向逐渐减小.C的注入使N分布有所拓宽.C在表面还能形成一层单一稳定的400 nm厚的DLC膜.过渡层主要由Al4C3,Al2O3,AlN,β-C3N4等组成.改性层总厚度达800 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏立芳	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	48	772	16.0	26.0
2	孙跃	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	41	374	12.0	17.0
3	廖家轩	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	11	83	6.0	8.0