离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响

• 作者: 廖克俊 方亮 王万录 王必本 肖金龙
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 离子轰击 核化 附着力
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、教学和力学性质
• 页码范围: 251-255
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.02.012

摘要

利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析，从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理，给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学理学院应用物理系	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学理学院应用物理系	66	513	12.0	19.0
3	方亮	重庆大学理学院应用物理系	62	513	12.0	18.0
4	王必本	重庆大学理学院应用物理系	15	91	5.0	9.0
5	肖金龙	重庆大学理学院应用物理系	7	21	3.0	4.0