HL—2A真空室预装抽气、检漏试验

• 作者: 徐云仙 曹曾
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 抽气系统 检漏 漏气率 真空室 HL-2A装置 托卡马克装置
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 28-35
• 页数: 8页
• 分类号: TL631.24

摘要

HL－2A真空室预装抽气系统由4套前级汇总式分子泵三级抽气机组组成，包括4套3500LS^-1分子泵、2套600LS^-1罗茨增压泵和2套70LS^-1机械泵，对环有效抽速为6.4m^3s^-1(H2)。用氦质谱检漏仪、四极场质谱计与氦质谱检漏仪相结合的方法（即双质谱法）分别进行零部件和真空室总体检漏，真空室总漏气率≤1.2×10^-5Pam^3s^-1。采用有效除气措施后，HL－2A真空室预装本底压强为1．1×10^-4Pa。