参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用

• 作者: 赵慧洁
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 参数估计 +横向定位 +微细图形
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 6-9,18
• 页数: 5页
• 分类号: TN24
• 字数: 2983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2001.02.002

摘要

引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题：提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明，在采用普通激光束径和工作台的条件下，系统横向定位准确度优于0.1 μm，同时系统的复杂性和造价大大降低。