色谱/质谱联用法测定NF3中微量CF4

• 作者: 周升如 张洪彬 韦桂欢
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: 色谱/质谱 选择离子监测 NF3 CF4
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: O65
• 字数: 1611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2997.2001.03.009

摘要

本文利用色谱/质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定.采用选择离子监测(SIM)方式测定,定量选择离子m/z为69,方法简单、准确、选择性好,CF4浓度在55～5500 mg/m3范围内与峰面积呈线性关系,方法最低检测浓度5.5 mg/m3,相对标准偏差5.6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦桂欢	中国船舶重工集团公司七院第七一八研究所	30	94	6.0	9.0
2	张洪彬	中国船舶重工集团公司七院第七一八研究所	33	106	6.0	9.0
3	周升如	中国船舶重工集团公司七院第七一八研究所	1	11	1.0	1.0