一种新型的用浮空场限环实现的可集成在SPIC中的高压电压探测器*

• 作者: 叶星宁 陈星弼 韩磊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 浮空场限环 高压电压探测器 分压器 探测环
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1250-1254
• 页数: 5页
• 分类号: O572.11
• 字数: 1125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.10.005

摘要

提出一种可以集成在SPIC(智能功率集成电路)内部的高压电压探测器的方法,其理论是基于基本的结终端技术中的浮空场限环系统,把场限环系统作为表面电压分压器.在通常的场限环外侧再增加两个环,对外侧环电压再一次分压,并把最外侧环设计成高压电压探测器.这样当主结电压上升到一个高压时,最外侧的环可以只有几伏到十几伏的变化,这样环(探测器)上的信号既可以表征主结高电压,又可以由低压逻辑电路处理.以一个400V的结构为例,分析并模拟了这个结构.结果证明可以有效探测SPIC的高压并可以集成在SPIC中.同时,该结构可以与CMOS和BCD工艺兼容,且工艺上也不会增加步骤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈星弼	电子科技大学微电子所	31	254	8.0	15.0
2	韩磊	电子科技大学微电子所	7	42	4.0	6.0
3	叶星宁	电子科技大学微电子所	6	20	3.0	4.0