介绍一种实用单晶炉提拉速度控制系统

• 作者: 刘勤贤 吕炜
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 单晶炉 提拉速度 速度控制系统
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TP278
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2001.03.010

摘要

本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勤贤	浙江工业大学之江学院	21	140	7.0	11.0