分压力质谱计校准装置的性能测试及校准实验

• 作者: 冯焱 李得天 李正海
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 分压力测量 四极质谱计 校准
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 分类号: TB771|TH843
• 字数: 4871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2001.01.006

摘要

介绍了分压力质谱计校准装置的性能指标,并用分压力质谱计校准装置校准了一台四极质谱计,给出了灵敏度、图样系数、线性、质量刻度、分辨本领等校准结果,还研究了气体之间的相互影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	李正海		10	110	5.0	10.0