TDR-70A型单晶炉真空系统与充气系统设计

• 作者: 李留臣 杨润
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空系统 单晶炉
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 经验介绍
• 页码范围: 47-48
• 页数: 2页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 1711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.02.012

摘要

单晶炉是生长大规模集成电路所需要硅单晶的专用设备。本文主要介绍了单晶炉的真空系统与充气系统的设计。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨润	西安理工大学晶体生长设计研究所	10	58	4.0	7.0
2	李留臣	西安理工大学晶体生长设计研究所	25	153	8.0	11.0