Fuzzy-PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用

• 作者: 丁积军 王新房 陈琦
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 模糊控制 PID控制 DDE
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 35-36
• 页数: 2页
• 分类号: TP273+.3
• 字数: 1770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2001.03.012

摘要

单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点，应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy-PID复合控制模型，在Windows平台下实现了有效的控制，并给出实时控制的程序设计方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新房	西安理工大学自动化与信息工程学院	65	417	11.0	16.0
2	陈琦	西安理工大学自动化与信息工程学院	4	37	2.0	4.0
3	丁积军	西安理工大学自动化与信息工程学院	2	23	2.0	2.0