桌面式微型工厂原型系统建模研究

• 作者: 苑伟政 赵洪策 马炳和
• 来源期刊: 机械强度
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微型工厂 系统建模
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的设计与数值模拟
• 页码范围: 495-499
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 3142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.021

摘要

借鉴虚拟制造的建模方法,开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究,规划了桌面式微型工厂的框架,确定了系统的结构组成,讨论了组成模块的功能、实现方式及不同模块间的联系与集成关系等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学现代制造工程研究所	33	167	7.0	11.0
2	苑伟政	西北工业大学现代制造工程研究所	70	351	10.0	14.0
3	赵洪策	西北工业大学现代制造工程研究所	2	10	1.0	2.0