复制微型光学元件的简易方法

• 作者: Nussb.,P 汪世祯
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 复制 微型光学零件 微系统 弹性材料
• 年，卷（期）: ygjs_2001,（5）
• 页码范围: 27-33
• 页数: 7页
• 分类号: TH706

摘要

本文介绍一种复制微型光学零件的简易方法。采用弹性材料制造原始光学零件的阴模，并采用经紫外线处理的固化胶来制造复制件。生产出的复制零件包括折射和衍射微型光学零件。微型折射透镜的直径为970μm，高度为79μm，衍射元件是一种多级闪耀光栅，其周期（节）为64μm，可采用不同的方法来测量复制零件的特性。对原始球形和复制的年射微型透镜的偏差为0．13λ和0．12λ均方根（rms）。复制的多级闪耀光栅的衍射效率在80％以上。还介绍了一种从平凸型样件复制出平凹型微透镜的方法。