全光通信用MEMS光开关

• 作者: 李向东 李福果 王海卿 龙再川
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤通信 微电子机械系统 光开关 光交叉互连 光耦合
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 73-77
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 3075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2001.02.001

摘要

在简要介绍了硅微机械加工技术的基础上，详细介绍了微透镜和微反射镜两种MEMS光开关的结构和工作原理。从发展和实用的角度对典型的波导调制型MZI光开关和MEMS光开关的特性进行了比较， 展望了MEMS光开关在未来全光通信中的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龙再川		13	102	6.0	9.0
2	李向东		6	151	5.0	6.0
3	王海卿		2	27	1.0	2.0
4	李福果		2	28	2.0	2.0