可编程序控制器在真空镀膜机上的应用

• 作者: 刘雁 孙金洲
• 来源期刊: 沈阳大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可编程序控制器(PLC) 磁控溅射法 真空镀膜机
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 64-66,71
• 页数: 4页
• 分类号: TP273+.1
• 字数: 1060字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-9225.2001.02.021

摘要

文中介绍采用可编程序控制器改进单机单片磁控溅射真空镀膜机的设计和运行情况.本系统可以连续工作,每次可镀三十片玻璃,并可镀复合膜多达三层,比以前单机单片镀膜工艺显著提高了工作效率,降低了成本,改善了产品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘雁	沈阳大学建筑工程学院	6	21	3.0	4.0