用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底

• 作者: 李成 杨沁青 王启明 王红杰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOR SiO2/Si布拉格反射器 智能剥离技术 光电子器件 光探测器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 261-264
• 页数: 4页
• 分类号: TN203
• 字数: 671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.03.003

摘要

报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋Si／SiO2布拉格反射器的SOR衬底．这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的．在垂直光照条件下，这种SOR衬底在1.3μm处的反射率接近100%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成	中国科学院半导体研究所	58	439	12.0	18.0
2	王红杰	中国科学院半导体研究所	32	93	6.0	7.0
3	王启明	中国科学院半导体研究所	118	735	14.0	20.0
4	杨沁青	中国科学院半导体研究所	1	4	1.0	1.0