作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
44英寸热磨机结构特点
中密度
热磨机
44英寸
结构
六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
硅晶片倒片
PLC控制器
红外温度测量
10.4英寸LCD显示器功能原理及测试方法
显示器
收放控制板
电机
视频
PVT法制备4英寸碳化硅单晶研究
4英寸
碳化硅
横向延展
计算机模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 用于12英寸硅圆片的XCALIBIR系统
来源期刊 国际技术经济导报 学科 工学
关键词 X光校对干涉仪 12英寸硅圆片 XCALIBIR 光刻机 NIST
年,卷(期) 2001,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 37-38
页数 2页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2001(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
X光校对干涉仪
12英寸硅圆片
XCALIBIR
光刻机
NIST
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国际技术经济导报
双月刊
国务院发展研究中心国际技术经济研究所
出版文献量(篇)
578
总下载数(次)
2
总被引数(次)
0
论文1v1指导