EBIC测定GaP的少子扩散长度和表面复合速度

• 作者: 周艳 李永良 杨锡震 王亚非
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: GaP 少子扩散长度 表面复合速度 电子束感生电流
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: O472+.1
• 字数: 2070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2001.01.016

摘要

应用扫描电子显微镜（SEM）对GaP半导体材料的p-n结进行线扫描，得到电子束感生电流（EBIC）的线扫描曲线.给出一简单模型，对GaP样品n区的EBIC线形进行计算，拟合实验曲线，得出少子扩散长度和表面复合速度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨锡震	北京师范大学分析测试中心	16	102	4.0	9.0
2	李永良	北京师范大学分析测试中心	58	807	15.0	26.0
3	周艳	北京师范大学分析测试中心	8	20	2.0	4.0
4	王亚非	北京师范大学分析测试中心	4	4	1.0	1.0