离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性

• 作者: 唐柏森 常增坡
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射薄膜压力传感器 瞬态特性 方波压力 响应失真
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.06.005

摘要

用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较，二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下，所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析，认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常增坡	中国航天科技集团公司第701研究所	2	12	2.0	2.0
2	唐柏森	中国航天科技集团公司第701研究所	2	12	2.0	2.0