微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究

• 作者: 叶雄英 周兆英 张大成 朱俊华 李婷 郝一龙
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 磁强计 隧道效应
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.13
• 字数: 2455字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计，对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm)，并且在薄膜的两面都制作了图形结构，拓展了微机械工艺的加工能力

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器系	205	3706	31.0	54.0
2	郝一龙	北京大学微电子学研究所	46	716	15.0	25.0
3	叶雄英	清华大学精密仪器系	62	1070	15.0	31.0
4	张大成	北京大学微电子学研究所	43	793	13.0	27.0
5	朱俊华	清华大学精密仪器系	11	74	4.0	8.0
6	李婷	北京大学微电子学研究所	44	616	13.0	23.0