分离靶多弧离子Nb-Al/Mo-Al合金薄膜及其腐蚀行为研究

• 作者: 张扬伟 李德俊 林国强 王富岗 王秀兰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 310不锈钢 多弧离子镀 分离靶 薄膜 腐蚀
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TG172.3
• 字数: 2506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.01.005

摘要

本文采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流等参数，在310SS(stainless steel)基片上制备了多种成分的Nb1-xAlx(0.38＜x＜0.64)/Mo1-yAly(0.6＜y＜0.78)合金薄膜。结果表明，选择适当的基片负偏压和分离靶弧电流可制得所需成分的二元合金薄膜。对所制备的Nb1-xAlx薄膜做了600℃、900℃的热腐蚀实验，结果表明，该薄膜具有较好的抗热腐蚀能力，对部分Nb1-xAlx/Mo1-yAly薄膜样品做了600℃下2.3%SO2/S2/8.8%N2环境中(气氛总压为1atm)的高温气体腐蚀实验，结果表明：310SS多弧离子镀Al、Mo-Al薄膜提高了样品的抗高温气体腐蚀能力；而多弧离子镀Mo、Nb、Nb-Al样品抗高温气体腐蚀能力下降，其中镀Mo样品最差。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王富岗	大连理工大学材料工程系	50	470	12.0	19.0
2	李德俊	大连理工大学材料工程系	16	91	7.0	8.0
3	张扬伟	大连理工大学材料工程系	9	31	4.0	5.0
4	林国强	大连理工大学三束改性国家重点实验室	59	562	13.0	21.0
5	王秀兰	大连理工大学材料工程系	6	14	2.0	3.0