低能量X-RAY测厚仪与β-RAY

• 作者: 刘伟
• 来源期刊: 电力电容器与无功补偿
• 关键词: 测厚仪 薄膜 应用 比较
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TM934.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-1757.2001.03.011

摘要

分析比较了低能量X-RAY和β-RAY两种测厚仪在薄膜生产测量中的差别.指出低能量X-RAY测厚仪将逐渐替代β-RAY测厚仪,成为今后薄膜厚度测量的主流机型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟		1	0	0.0	0.0