非晶硅太阳电池生产中沉积SnO2膜的均匀性

• 作者: 吕宝堂 贾兆滨 赵晖 邹邦涛
• 来源期刊: 能源工程
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2 非晶硅 太阳电池
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 新能源入工艺
• 页码范围: 7-8
• 页数: 2页
• 分类号: TM91
• 字数: 1210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3950.2001.03.003

摘要

介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明导电膜的原理和方法。通过沉积器具和工艺的改进，提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕宝堂		1	2	1.0	1.0
2	赵晖		1	2	1.0	1.0
3	邹邦涛		1	2	1.0	1.0
4	贾兆滨		1	2	1.0	1.0