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非晶硅太阳电池生产中沉积SnO2膜的均匀性
非晶硅太阳电池生产中沉积SnO2膜的均匀性
作者:
吕宝堂
贾兆滨
赵晖
邹邦涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
SnO2
非晶硅
太阳电池
摘要:
介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明导电膜的原理和方法。通过沉积器具和工艺的改进,提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的影响。
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文献信息
篇名
非晶硅太阳电池生产中沉积SnO2膜的均匀性
来源期刊
能源工程
学科
工学
关键词
SnO2
非晶硅
太阳电池
年,卷(期)
2001,(3)
所属期刊栏目
新能源入工艺
研究方向
页码范围
7-8
页数
2页
分类号
TM91
字数
1210字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-3950.2001.03.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
吕宝堂
1
2
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赵晖
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邹邦涛
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研究主题发展历程
节点文献
SnO2
非晶硅
太阳电池
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
能源工程
主办单位:
浙江省能源与核技术应用研究院
浙江省能源研究会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-3950
CN:
33-1113/TK
开本:
16开
出版地:
杭州市文二路218号
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
2574
总下载数(次)
10
总被引数(次)
15818
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