实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统

• 作者: 何秀坤 李光平 李静 杨学军 武惠忠 汝琼娜 王良
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 硅中氧 碳含量 自动测量 傅里叶变换红外光谱
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器评介
• 页码范围: 37-38
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2001.05.015

摘要

实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武惠忠		1	0	0.0	0.0
2	杨学军		1	0	0.0	0.0