二氧化锡薄膜的MOD法制备和表征

• 作者: 姚熹 林殷茵 汤庭鳌
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化锡 薄膜 金属有机物热分解 制备
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 277-279,284
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 3436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.03.021

摘要

采用新颖的金属有机物热分解方法(MOD)制备了二氧化锡薄膜.红外分析和热分析表明,先体制备过程中生成了锡的有机物,这对制备质量良好的光学薄膜起了决定作用.对薄膜的红外光谱和紫外-可见光谱的分析表明,薄膜的热处理过程中经历了溶剂挥发、有机物燃烧和析晶等过程,随热处理温度的升高,薄膜的孔率显著减小,薄膜的结构致密,这是由制备过程的特点决定的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	林殷茵	复旦大学电子工程系微电子所	40	129	7.0	10.0
3	汤庭鳌	复旦大学电子工程系微电子所	28	186	7.0	13.0