薄膜应力分析及一些测量结果

• 作者: 范正修 范瑞瑛
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 热应力 形变 沉积 老化
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜性能的测试和分析
• 页码范围: 84-91
• 页数: 8页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2001.05.018

摘要

论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范瑞瑛	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	377	9.0	15.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0