硅热流量传感器的研究与发展

• 作者: 张昭勇 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 硅热流量传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 4352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.01.007

摘要

本文详细地介绍了硅热流量传感器的工作原理并对它进行了细致的分类，同时概括了其发展和应用情况。最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦明	东南大学微电子中心	10	99	6.0	9.0
2	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
3	张昭勇	东南大学微电子中心	2	47	2.0	2.0