集成薄膜电容一体化工艺研究

• 作者: 秦跃利 高能武
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电容 薄膜 混合集成电路 微波集成电路
• 年，卷（期）: hhwdzjs,（2）
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TN454
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高能武		9	5	1.0	2.0
2	秦跃利		1	0	0.0	0.0