臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的研究

• 作者: 刘维良 吴坚强 汪有良 陈云霞
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlN陶瓷 陶瓷基板 臭氧发生器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 175-179
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.6
• 字数: 3259字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2278.2001.03.014

摘要

为了提高臭氧发生器的臭氧产量,要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率.本文研究了掺杂成分CaO、Y2O3、YF3、(Y,Ca)F3对臭氧发生器用AlN陶瓷基板材料的相对密度、热导率、介电常数、介质损耗等性能的影响.采用XRD分析其物相和SEM观察其显微结构,结果表明,掺杂成分对改善陶瓷基板材料性能的作用大小依次排列为:(Y,Ca)F3>YF3>Y2O3>CaO,最适合的掺杂配方是:(Y,Ca)F33.0wt%,YF32.0wt%,Y2O31.0wt%,CaO1.0wt%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴坚强		51	239	9.0	13.0
2	刘维良		79	620	14.0	22.0
3	陈云霞		87	275	9.0	12.0
4	汪有良		1	11	1.0	1.0