质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化

• 作者: 刘弦 廖燕平 张红坡 李玉善 邓文渊 马少杰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 质子交换光波导 LiTaO3 晶格常数
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 417-421
• 页数: 5页
• 分类号: TN252
• 字数: 2445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2001.04.022

摘要

采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层.样品制备采用245℃苯甲酸气体,在LiTaO3晶体在-C和+C表面交换8～20小时.质子交换层在LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品.然后在HF:HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层,并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌.用X射线衍射法,测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化.用双晶X射线测量质子交换(PE)和退火质子交换(APE)波导层晶格常数的变化.样品的X射线衍射曲线表明,PE和APE波导晶格常数的变化不同.实验中,还测量了有无极畴反转LiTaO3晶格常数的改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓文渊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	187	7.0	13.0
2	马少杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	44	4.0	5.0
3	廖燕平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	15	2.0	2.0
4	张红坡	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	8	1.0	1.0
5	李玉善	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	26	2.0	2.0
6	刘弦		1	8	1.0	1.0