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摘要:
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基于激光干涉仪反馈的数控系统在线补偿接口开发
激光干涉仪
数控系统
在线补偿
基于激光干涉仪的运动误差测量系统设计
激光干涉仪
运动误差测量
几何误差避免
激光干涉
一种旋转式相位干涉仪测角系统研究
相位干涉仪
旋转弹体
相位延迟线
数字鉴相
基于激光干涉的大角度高精度在线测角方法研究
红外遥感相机
扫描系统
在线角度检测
测角误差分析
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 基于激光反馈干涉仪的新型测长装置
来源期刊 光电子技术与信息 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2001,(3) 所属期刊栏目 材料与元器件
研究方向 页码范围 27-30
页数 4页 分类号 TN24
字数 2587字 语种 中文
DOI
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2001(0)
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期刊影响力
光电子技术与信息
双月刊
chi
出版文献量(篇)
822
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