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摘要:
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热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究
热丝化学气相沉积
金刚石
温度场
薄膜生长
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 化学气相沉积金刚石膜工业应用
来源期刊 金属世界 学科
关键词
年,卷(期) 2001,(3) 所属期刊栏目 科技金桥
研究方向 页码范围 30
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
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期刊影响力
金属世界
双月刊
1000-6826
11-1417/TG
大16开
北京海淀区学院路30号
18-316
1985
chi
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3080
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5
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5877
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