分压强质谱计校准装置的研制

• 作者: 冯焱 张建军 张涤新 李得天 李正海 李莉 许珩 龚月莉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分压强 测量 质谱计 校准
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 237-241
• 页数: 5页
• 分类号: TB773|TB771
• 字数: 4581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.03.017

摘要

分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法，并给出了分压强测量的不确定度分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	冯焱		51	463	12.0	17.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0
4	张建军		7	88	5.0	7.0
5	许珩		5	56	2.0	5.0
6	李莉		5	50	3.0	5.0
7	李正海		10	110	5.0	10.0
8	龚月莉		3	54	2.0	3.0