(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的制备和微观结构分析

• 作者: 刘世建 徐重阳 曾祥斌
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡陶瓷靶 烧结工艺 射频磁控溅射 微观结构
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: TN384
• 字数: 1656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2001.04.003

摘要

探讨了射频磁控溅射用(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶的烧结工艺,并用电子探针和X射线粉晶衍射法对其成分和微观结构进行了分析.结果表明,900~1 000℃烧结出的(Ba0.67Sr0.33)TiO3陶瓷靶在组织结构及成分均匀性、致密度和强度方面都符合射频磁控溅射的实际要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中科技大学电子科学与技术系	85	592	12.0	19.0
2	曾祥斌	华中科技大学电子科学与技术系	45	285	10.0	14.0
3	刘世建	华中科技大学电子科学与技术系	5	62	4.0	5.0