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光波网络中的硅微机械
光波网络中的硅微机械
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摘要：
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基于体硅微机械工艺的光波导器件封装技术
耦合
封装
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蚀硅
多晶硅微机械构件损伤的表面效应
微型机械
多晶硅
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光机电信息
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-1180
CN：
22-1250/TH
开本：
大16开
出版地：
吉林省长春市
邮发代号：
12-171
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
2287
总下载数（次）
1
总被引数（次）
7000
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