用于BGA共面性检测的激光扫描在线测试系统

• 作者: 叶声华 孙长库 薛晓洁
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 在线测试系统 球栅阵列芯片 激光扫描 三点法
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN407
• 字数: 2166字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2001.01.010

摘要

一种用于BGA(Ball GridArray)共面性检测的激光扫描在线测试系统，对扫描中的动态误差进行了实时修正，提出了以三点法为基础的共面性评价方法，并进行了相应的实验研究，取得了满意的结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	薛晓洁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	42	4.0	5.0
3	孙长库	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	95	1115	19.0	27.0