硅基PtSi纳米薄膜制备及应用研究进展

• 作者: 李美成 杨建平 殷景华 王菁 蔡伟 赵连城 陈学康
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 纳米薄膜 脉冲激光沉积 激光分子束外延
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 237-239
• 页数: 3页
• 分类号: TQ163.4
• 字数: 5016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.03.005

摘要

PtSi红外探测器是一种重要的光电器件,在军事和民用方面均起着非常重要的作用.高质量硅基PtSi薄膜的制备是高性能器件研制的基础.本文介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等制备PtSi薄膜的方法.并评述了PtSi红外探测器的最新应用研究进展及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵连城	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	107	1153	16.0	29.0
2	蔡伟	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	73	482	13.0	17.0
3	陈学康	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	24	197	7.0	13.0
4	杨建平	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	8	89	4.0	8.0
5	李美成	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	29	200	8.0	13.0
6	王菁	兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室	3	61	2.0	3.0
7	殷景华	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	3	5	1.0	2.0