测辐射热计的氧化钒薄膜成技术研究和微桥结构研制

• 作者: 郭群英 陈建国
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 测辐射热计 微桥结构 氧化钒薄膜 红外探测器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN215

摘要

介绍了研制中的测辐射热计的工作原理，器件结构的几何形状和研制状况，叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建国		9	42	2.0	6.0
2	郭群英		7	8	1.0	2.0