温度对薄膜渗氦型漏孔漏率的影响研究

• 作者: 冯焱 张建军 张涤新
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 漏率校准 渗氦型漏孔
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 200-203
• 页数: 4页
• 分类号: TB774|O434
• 字数: 2921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2001.04.003

摘要

介绍了气体微流量标准装置对漏率的校准方法.在温度16～50℃范围内,对两支薄膜渗氦型漏孔进行了校准,并给出了温度与漏率的关系表达式.得出了研究结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱		51	463	12.0	17.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	张建军		7	88	5.0	7.0