透明导电IMO薄膜的载流子浓度测量

• 作者: 刘键 孟扬 杨锡良 林剑 沈杰 章壮健 蒋益明 陈华仙
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电薄膜 掺钼氧化铟 反应蒸发 载流子浓度
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 245-250
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2001.04.002

摘要

用反应蒸发法制备的掺钼氧化铟(In2O3:Mo,IMO)薄膜在可见光区域的平均透射率(含1.2 mm厚玻璃基底)超过80%,电阻率最低达1.7×10-4 Ω*cm.采用等离子振荡波长法、van-der-Pauw法和光谱拟合法等三种方法对IMO薄膜和ITO薄膜的载流子浓度进行了测量和比较,结果表明IMO薄膜的载流子浓度还不到ITO薄膜的三分之一.因此,IMO薄膜对可见光的吸收小,有很大的发展空间可以通过提高载流子浓度而进一步提高电导率,对近红外线也有较高的透射率,有利于拓展透明导电薄膜的应用领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	杨锡良	复旦大学材料科学系	22	512	13.0	22.0
3	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
4	刘键	复旦大学材料科学系	4	47	3.0	4.0
5	孟扬	复旦大学材料科学系	6	180	5.0	6.0
6	陈华仙	复旦大学材料科学系	5	181	5.0	5.0
7	蒋益明	复旦大学材料科学系	45	486	11.0	21.0
8	林剑	复旦大学材料科学系	3	45	3.0	3.0