试验用排气炉控制系统

• 作者: 李树森 薛又丛
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 排气炉 排气小车 智能调节器 高频炉 PLC
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TN108
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2001.02.010

摘要

介绍一种以日本岛电的智能调节器，OMRON的可编程序控制器和日电高周波的高频炉为主控设备的彩管试验用排气炉控制系统，分析了加热、冷却、高频振荡、阴极分解、封离全程控制系统的原理和特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛又丛		3	8	1.0	2.0
2	李树森		2	7	1.0	2.0