化学气相沉积制膜技术的应用与发展

• 作者: 水恒勇 王豫
• 来源期刊: 热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 薄膜 发展
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 3483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1690.2001.04.001

摘要

化学气相沉积作为一种有效的表面工程技术手段,发展十分迅速,应用范围日趋广泛.本文介绍了化学气相沉积制膜技术在国民经济各个领域中的应用及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王豫	安徽工业大学冶金与材料学院	15	202	8.0	14.0
2	水恒勇	安徽工业大学冶金与材料学院	3	62	2.0	3.0