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蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子
蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子
作者:
蒋昌忠
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
扫描电子显微镜
同轴背反射电子
蒙特卡罗模拟
薄膜
摘要:
用蒙特卡罗方法模拟计算了薄样品中的高能同轴背散射电子的背散射率和厚度衬度. 结果指出:用较大的探测能量窗口和大的探测角可在确保厚度衬度的前提下增强信噪比. 大的入射能量虽有利于厚度衬度,但不利于提高信噪比. 薄膜沉积在异质衬底上的模拟结果显示,虽然背散射率中包含有衬底材料的信息,但还是膜层厚度的单调变化函数,有可能通过背散射率的测量来判定薄膜厚度.
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引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子
来源期刊
武汉大学学报(理学版)
学科
工学
关键词
扫描电子显微镜
同轴背反射电子
蒙特卡罗模拟
薄膜
年,卷(期)
2001,(1)
所属期刊栏目
物理学
研究方向
页码范围
91-94
页数
4页
分类号
TN16
字数
3123字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1671-8836.2001.01.020
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
蒋昌忠
武汉大学物理科学与技术学院
43
191
9.0
11.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
扫描电子显微镜
同轴背反射电子
蒙特卡罗模拟
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
武汉大学学报(理学版)
主办单位:
武汉大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1671-8836
CN:
42-1674/N
开本:
大16开
出版地:
湖北武昌珞珈山武汉大学梅园一舍
邮发代号:
38-8
创刊时间:
1930
语种:
chi
出版文献量(篇)
2782
总下载数(次)
6
总被引数(次)
22143
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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