微电子机械系统的几个力学问题

• 作者: 余寿文
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微电子机械系统 界面(相)力学 薄膜基底结构 弹塑性一粘着接触力学
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微/纳电子机械系统的基础问题
• 页码范围: 380-384
• 页数: 5页
• 分类号: TH11
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.002

摘要

讨论微电子机械系统(MEMS)的三个力学问题:(1)微系统界面区域的力学性质.(2)薄膜-基底结构界面的裂纹扩展.(3)微机械的弹塑性-粘着接触力学.文中在简述了研究现状后,简要地报导了作者及其合作者对上述三个问题的研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余寿文	清华大学工程力学系	34	431	13.0	20.0