微机电系统加速商品化进程

• 作者: 李茗
• 来源期刊: 世界产品与技术
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

微机电系统(MEMS)在1950年代随半导体的发展而兴起,但商品化的过程比集成电路慢一些,因为要使价格降低至可与传统的产品相比需要花费相当时间,提高可靠性也是至关重要的质量控制内容.从统计资料表1给出的主要MEMS商品化时间表可知,压力传感器、加速度传感器和喷管是完全商品化并且占领一定市场的产品,相当大部分MEMS产品还处于降低成本和扩展应用范围的阶段.由于汽车业的需要,MEMS加速度传感器已普遍应用于防撞气囊,人类基因组研究的开展将加快生化传感器的商品化,光纤通信的宽带应用将要求微型继电器和微型开关.