三维微细光刻成型技术及其发展概况

• 作者: 李川奇 沈连婠 王翔 胡玉禧 赵钢
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 物理学
• 关键词: 微型机械 微细加工 微光成型技术 紫外光硬化树脂
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 计算机、自动化、应用技术
• 页码范围: 33-35,39
• 页数: 4页
• 分类号: O3
• 字数: 4559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2001.02.014

摘要

简要介绍了三维光成型技术的原理以及现阶段可以用来进行微细加工的方法;着重介绍了微光成型技术的发展和研究现状及其成果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡玉禧	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	18	221	8.0	14.0
2	赵钢	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	28	121	7.0	9.0
3	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
4	李川奇	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	25	241	7.0	14.0
5	沈连婠	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	63	319	7.0	12.0