梳状电极电容式SO2气体传感器

• 作者: 武少华 王道 陈霭番
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化硫 传感器 梳状电极电容
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 265-270
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2001.04.003

摘要

二氧化硫气体传感器由一组梳状电极和做为电介质覆盖其上的,对二氧化硫敏感的有机改性硅酸酯薄膜组成.梳状电极电容的基材为二氧化硅,铝电极以薄膜覆在其上,电极的厚度为1.6 μm电极宽度和间隙为15 μm,电极的长度为1 200 μm,电极总数为400个.采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术形成气敏涂层.在室温和100 Hz, 1 kHz, 10 kHz下,测定了梳状电极电容器的电容,探讨了二氧化硫浓度,测量频率和涂膜厚度对传感器灵敏度的影响.在本实验条件下,经有机改性的N, N-二乙基氨丙基-三甲氧基硅烷比其他同类的硅酸酯对二氧化硫有更高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王道	北京工业大学环境与能源工程学院	48	460	12.0	19.0
2	武少华	北京工业大学环境与能源工程学院	18	224	9.0	14.0
3	陈霭番	北京化工大学应用化学系	2	5	2.0	2.0