红外光学薄膜材料ZnS靶材的研制

• 作者: 刘希诚 卢其云 肖方明
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 靶 镀膜 硫化锌
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 107-110
• 页数: 4页
• 分类号: TF124
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2001.02.008

摘要

在pH2～3、温度80～85℃的Zn2+溶液中通入H2S气体,制取高纯ZnS粉.将ZnS粉压制成形,通过高温烧结和快速冷却,可制成符合真空蒸发镀膜要求的ZnS靶材.ZnS靶的化学纯度及密度是影响镀膜质量的重要因素,烧结ZnS靶的表观密度为3.65～3.85g/cm3.本试验制备的ZnS靶的镀膜符合光学元件要求的镀膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖方明	广州有色金属研究院稀土研究室	24	111	7.0	8.0
2	卢其云	广州有色金属研究院稀土研究室	14	47	4.0	6.0
3	刘希诚	广州有色金属研究院稀土研究室	1	0	0.0	0.0