用XPS研究Na2S钝化的GaAs(100)表面

• 作者: 严如岳 任殿胜 李雨辰 王为
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: GaAs 表面钝化 XPS
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2001.03.011

摘要

本文用Na2S·9H2O的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对GaAs表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XPS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究.结果表明,经不同的Na2S溶液处理后GaAs表面的自然氧化层会被除去,表面生成硫化镓和硫化砷;硫化物的含量与硫化层厚度与所用溶液的极性有关;并对钝化机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王为	天津大学化工学院	125	1597	22.0	34.0
2	任殿胜	天津大学化工学院	6	42	5.0	6.0
3	李雨辰		3	16	2.0	3.0
4	严如岳		3	16	2.0	3.0