HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O\-3的检测

• 作者: 吴小晔 李华伟 梅思滔 牛文成 谢建湘 贾芸芳 那兴波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: HSGFET型O\-3传感器 悬浮栅 双敏感膜 功函数
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2001.01.005

摘要

本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O\-3敏感性的影响，并对所得实验结果进行了分析比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学电子科学系	48	515	11.0	21.0
2	李华伟	南开大学电子科学系	10	15	3.0	3.0
3	贾芸芳	南开大学电子科学系	25	64	5.0	6.0
4	那兴波	南开大学电子科学系	7	20	3.0	3.0
5	吴小晔	南开大学电子科学系	2	8	2.0	2.0
6	谢建湘	南开大学电子科学系	4	13	3.0	3.0
7	梅思滔	南开大学电子科学系	1	4	1.0	1.0